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这套系统比asl的euv机台大了足足三倍，这是由于采用了功率更高的紫外混合激光发生系统，更复杂的透镜系统，和更牢固的刻蚀引擎。
罗佳的演讲永远充满干货，节奏飞快，刚才他还在讲北美陶氏化学，断供oe，是指乙烯辛烯共聚物、乙烯丁烯共聚物，乙烯己烯共聚物等等。
它们都是聚烯烃类弹性体，用来做pa尼龙增韧剂，pp抗冲改性，eva挤出软管，pe膜之类的产品。
目前全世界仅有六家厂商生产，并且全都是外企，我国对poe年需求量在二十万吨，全部必须靠进口。
陶氏化学作为全球最大的poe供应商，突然断供，对我国影响巨大，所以星辰化学现在临危受命，准备搞技术攻关。
另外罗佳还说，从这件事上要学会居安思危，塞拉尼斯集团的醋酸纤维丝，超分子量聚乙烯，聚苯硫醚pps，英威达和奥盛德集团的pa66，伊斯
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